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ニオブターゲット

ニオブターゲット

ニオブターゲットの用途

ニオブターゲット材料は、化学産業、医療、ガラス、電力、電気めっき、電子機器、航空宇宙、軍事産業、石油など、幅広い分野で使用されています。
ニオブスパッタリングターゲットは、ニオブおよびその合金薄膜材料を製造するための重要な原料として、LCDフラットパネルディスプレイ、光学レンズ、電子イメージング、情報ストレージ、太陽電池、ガラスコーティングなどの光電分野の製品に広く使用されているほか、船舶、化学薬品、その他の腐食環境にも適用されています。

ニオブスパッタリングターゲット

現在、回転コーティングニオブターゲットは、主に先進的なタッチスクリーン、フラットディスプレイ、省エネガラスの表面コーティングに使用されており、ガラススクリーンの反射防止効果があります。
シームレスなニオブチューブターゲットは、平面ターゲットに比べて高効率で均一な膜を形成できるという利点があります。マグネトロンスパッタリング中にニオブチューブターゲットから生成されるNb2O5は、優れた性能と高い屈折率を備えたエレクトロクロミック材料です。
SiO2との混合により、屈折率の異なる膜を作製することができます。

そのため、Nb2O5膜は広く使用されており、ニオブターゲットの需要は増加しています。ニオブターゲットは高価で酸化されやすいため、低コスト、大型、環境に優しく無公害なニオブ管ターゲットの製造方法の開発が強く求められています。

ニオブターゲットの特性

種類 ニオブターゲットの主成分 その他の不純物 最大%
Nb Fe Si Ni W Mo Ti Ta O C H N
R04210 残り 0.004 0.004 0.002 0.005 0.005 0.002 0.07 0.015 0.004 0.0015 0.003
ニオブチューブターゲットの物理的特性
グレード 引張強度(最小) 降伏強度(0.2%残留変形) 伸び(標準距離25.4mm)
R04200
R04210
18000psi (125MPa) 12000psi (85MPa) 25%

ニオブターゲット製品

主な製品は、ニオブ回転ターゲットニオブスパッタリングターゲットニオブ平面ターゲットニオブチューブターゲットなどです。
図面をお持ちの場合は、お客様の設計に基づいてカスタムメイドで製作することも可能です。